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磁控溅射硅
磁控溅射
技术的应用有哪些方面
答:
4. **装饰涂层和防护涂层**:在装饰和防护涂层制造中,
磁控溅射
可以用来制备各种颜色和功能的涂层,如抗刮擦涂层、防腐蚀涂层、耐磨涂层等。这些涂层可以用来改善产品的外观、耐用性和功能性。5. **太阳能电池**:在薄膜太阳能电池制造中,磁控溅射可以用来沉积各种薄膜材料,如硅薄膜、CIGS薄膜等。6....
请教:
磁控溅射
镀锗膜、二氧化硅膜的工艺参数是多少?作为参考!
答:
你先做
硅
靶的分压 先通一定量的AR,达到你工艺需要的真空度以后,(一般0.3-0.5Pa)在通入O2,我不知道你设备的大小,要是设备大的话以10为单位,10、20、30...一点点的加,要是小的话,就以2为单位一点点的加2、4、6、8、...(氩气的进气量不变,只改变氧气的进气量),做好记录,...
磁控溅射
有哪些种类?不同种类的工作原理是什么?
答:
1. 直流
磁控溅射
:直流磁控溅射是最基本的磁控溅射方式。其工作原理是,利用直流电源对靶材加正电压,产生离子轰击,同时在靶材表面施加磁场进行引导,使得离子轰击靶材表面时产生的原子或分子向衬底沉积。这种技术适合制备金属薄膜和多元化合物薄膜。2. 射频磁控溅射:射频磁控溅射是利用高频交流电源产生电场,...
磁控溅射
中的靶材分为金属合金靶和陶瓷靶,那像一些金属氧化物的靶材为...
答:
在
磁控溅射
中,靶材的分类不是根据其材料的类型,而是根据其物理结构和性质。金属合金靶材通常具有晶粒较大、密度较高、结构紧密等特点,适用于制备多种金属薄膜。陶瓷靶材则具有晶粒细小、密度相对较低、化学稳定性好等特点,适用于制备一些氧化物、氮化物等复杂材料的薄膜。可以说,金属氧化物靶材实际上是...
磁控溅射
中的靶材分为金属合金靶和陶瓷靶,那像一些金属氧化物的靶材为...
答:
但在工程和科学中,它们被分类为陶瓷。在
磁控溅射
中,这些陶瓷靶材用于生产特定的薄膜。例如,氧化锆靶可以用来在半导体设备中形成高介电常数的薄膜,而氧化铝靶则可以用来制造耐腐蚀和耐磨损的涂层。因此,虽然这些靶材是金属氧化物,但由于它们具有陶瓷的特性,所以我们称它们为陶瓷靶。
溅射
工艺生产的二氧化硅质量如何
视频时间 19:21
磁控溅射
技术工艺是怎样的?
答:
在ABS,PC,PBT,PE,PP,PA66等塑料基体上直接镀膜,不需喷底漆,也不需喷面漆(不需要投资喷涂设备),在镀完铝膜后直接镀一层保护膜。滴1%NaOH溶液10分钟铝层不腐蚀,去离子水中浸饱96小时铝层不脱落。
磁控溅射
镀膜设备及技术介绍a旋转磁控溅射镀膜机;旋转磁控溅射镀膜技术,是国内外最先进的磁控溅射...
单晶
硅
棒喝厚度约1纳米的薄膜分别可用什么方法制备?
答:
1nm的单晶硅薄膜,
磁控溅射
吧,别的还真没法。
解决铝互连电迁移问题的方法有哪些?()
答:
电迁移性能的方法。解决铝互连电迁移问题的方法有电迁移性能的方法。采用直流
磁控溅射
法用铝及铝铜合金靶材在硅基片上沉积了薄膜,并通过光刻、刻蚀制成互连线,通过电迁移加速寿命。
磁控溅射
靶材烧了裂一个口
答:
建议不要使用了,辉光放电倒不会击坏基座,但是它打到基座上的话会轰击出基座上的金属离子,对你镀的膜造成污染。如果不是贵金属的话直接扔掉,如果是贵金属的话重新熔铸吧
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