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MKS等离子体管道清洗
射频电源是用来干什么的?可以用来加热吗?
答:
射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源,可以用来加热。射频电源与是等离子体工业设备上的驱动源,主要用在镀膜、
等离子体清洗
、CO2激光器等设备上。世界上主流品牌是AE、
MKS
、COMDEL等;功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W;射频电源替代高频电源的优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。一套...
半导体蚀刻 RIE 反应
离子
蚀刻简介
答:
在半导体制造的精密工艺中,反应离子蚀刻(RIE)堪称定向蚀刻的瑰宝,它巧妙地结合了化学反应和物理效应,通过
MKS
官网的技术原理得以实现。RIE的核心在于利用离子束与化学气体的协同作用,创造高度各向异性的蚀刻效果。RIE的魔法在于,离子通过负偏置衬底的加速,同时伴随着
等离子体
中的化学反应,离子的冲击力如同...
等离子体
辐射的轫致辐射
答:
根据量子力学计算,可以得到
等离子体
中的轫致辐射功率密度ωff为 , ⑷式中Nij为第j种离子的密度;Zj为第j种离子的有效电荷;除电子温度Te以电子伏为单位外,其他为
MKS
制。在受控核聚变研究中,电子温度低于几百电子伏时,轫致辐射可以忽略。在10千电子伏以上的高温时,所有杂质的外层电子接近于完全剥...
法拉第电磁感应定律是什么
答:
法拉第电磁感应定律:因磁通量变化产生感应电动势的现象,闭合电路的一部分导体在磁场里做切割磁感线的运动时,导体中就会产生电流,这种现象叫电磁感应现象。由于这个现象是法拉第发现的,又称法拉第电磁感应定律。电磁感应定律中电动势的方向可以通过楞次定律或右手定则来确定。右手定则内容:伸平右手使姆指...
求助6寸Thermco炉管LPCVD(NIT)淀积压力不稳
答:
你们的淀积步骤的控压是闭环控制的,对么?设定压力250,上下限分别为250+/-37? 有反复测试过通N2的时候能控压吗? 根据你所描述的现象,可以怀疑一下几点:1.真空泵有问题,抽气能力不稳定。2. 压力控制器有信号干扰,或者是信号线有松动。3. 压力表不稳定,或者是压力表前端
管路
有堵塞。
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