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直流磁控溅射镀膜特点
求助:
直流磁控溅射
靶材被穿透,会有什么现象啊?
答:
电压下降,不管怎么升电流电压就那么一点,不要问我怎么知道,今天中午就穿了
磁控溅射
中的靶材分为金属合金靶和陶瓷靶,那像一些金属氧化物的靶材为...
答:
在
磁控溅射
中,靶材的分类不是根据其材料的类型,而是根据其物理结构和性质。金属合金靶材通常具有晶粒较大、密度较高、结构紧密等
特点
,适用于制备多种金属薄膜。陶瓷靶材则具有晶粒细小、密度相对较低、化学稳定性好等特点,适用于制备一些氧化物、氮化物等复杂材料的薄膜。可以说,金属氧化物靶材实际上是...
作
直流磁控溅射
铜靶时,无法起辉。
答:
电流急剧增大,说明你的靶与地之间短路了,关掉机器,把设备的
溅射
靶卸下来后,靶附近的零件仔细清洗一下问题就解决了。
论文的文献综述怎么写?格式是什么?
答:
溅射镀膜
有二级、三级或四级溅射、
磁控溅射
、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K
直流
电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子...
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