镀膜靶材材料成分

如题所述

第1个回答  2024-06-29
镀膜靶材的材料成分根据镀膜的应用和目标金属而有所不同,常见的材料包括:
1. 硅(Si):用于制备氧化硅(SiO2)薄膜。
2. 铬(Cr):用于制备铬薄膜,常用于光学、电子等领域。
3. 镍(Ni):用于制备镍薄膜,广泛应用于磁记录、电子和防腐领域。
4. 钨(W):用于制备钨薄膜,在电子和涂层领域有广泛的应用。
5. 铜(Cu):主要应用于半导体、光学、电子和表面工程等领域。
6. 银(Ag):主要应用于光学、电子等领域,可制备高反射率的镜面。
7. 钛(Ti):用于制备钛薄膜,常用于太阳能电池、半导体和涂层领域。
8. 锌(Zn):用于制备锌薄膜,常用于防腐涂层和太阳能电池等领域。