第1个回答 2018-04-25
上图是气体放电伏安特性曲线
磁控溅射的起辉是辉光放电后期的异常辉光放电。
靶材一定，配置的电源也需要一定，功率需要达到一定程度才能实现起辉，磁控溅射。异常辉光有一个范围，溅射功率和你说的起辉功率应该是一个功率。小范围可以变化。
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