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    • UV,DUV,EUV在集成电路中是什么意思？目前只知道是和光刻中光源有关啊

    如题所述

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    第1个回答  2012-11-25
    UV：紫外光简称，365nm
    DUV：深紫外，248nm，193nm
    EUV：电子束
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