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    • 磁控溅射在玻璃基片上镀Si薄膜什么样子的,用的Ar气，辉光是紫色的，镀好的膜是什么颜色才对呢？

    如题所述

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    其他回答
    第1个回答  2012-11-05
    青色的，与靶材颜色差不多。
    第2个回答  2012-11-12
    不一定吧，与膜的厚度以及膜的成分（是不是被氧化了？）有关的
    第3个回答  2012-11-19
    我也是溅射Si，发现也是变成紫色了，你最后发现是氧化了么
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