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磁控溅射反应气体
谁知道
磁控溅射
镀膜时通氩气和氧气的作用各是什么啊?还有就是对这方面...
答:
磁控溅射
想工作必须得通入氩气的,而氧气是工艺
气体
,比如你想镀SiO2,那么你要使用Si靶,然后通入氩气,这时候溅射出来的是Si,而你同时通入氧气的话,那么所镀膜层就变为SIO2了,因为SI离子和氧离子反映,
磁控溅射
镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用
答:
在此得到电子,成为原子沉积下来,镀层金属原子失去电子变为离子进入电解质溶 液中,此电子转移的过程,也就是氧化-还原
反应
。所以氧气是保证更好的进行这个反应,而氮气氩气是保护为主。
磁控溅射
镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?
答:
1.镀金属膜时,一般用氩气作为工作
气体
,它是惰性气体,在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。2.氧气一般用于镀非金属膜,如TiO2,不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。3.氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体,让真空室内压强和大气压强保持相等,才能开盖换靶镀另一层膜。可能解释还不是很清楚,...
磁控溅射
中通入不同的
气体
其辉光颜色不同,为什么??
答:
磁控溅射
靶表面的磁场强度不足以引起
溅射气体
的等离子体发射谱,因此不应由磁场强度的变化引起。辉光从蓝色(可能是氩)变成紫色,这表明气体成分应该发生了变化。另外,从目标表面的颜色变化也可以看出气体成分发生了变化。但楼主说真空没问题,所以我猜气源有问题,因为如果功率保持不变,靶上溅射的离子应该...
磁控溅射
原理
答:
磁控溅射
的基本原理是利用 Ar一O2混合
气体
中的等离子体在电场和交变磁场的作用下,被加速的高能粒子轰击靶材表面,能量交换后,靶材表面的原子脱离原晶格而逸出,转移到基体表面而成膜。1、磁控溅射是物理
气相
沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多...
磁控溅射
的原理是什么?
答:
1. 基本原理:- 首先,你得有一个真空室,因为
磁控溅射
是在真空环境下进行的。- 然后,你把要涂层的材料(称为靶材)和要涂上材料的物体(称为基底)放进去。- 接下来,你在真空室里加入一些惰性
气体
,比如氩气。2. 产生等离子体:- 当你在真空室里通电,氩气就会变成等离子体,这就是一群带电...
磁控溅射
为什么用Ar
气体
答:
要用惰性气体作
反应气体
,用于电离后轰击靶材,Ar成本低,工业上容易获得。
磁控溅射和
反应磁控溅射
是一种东西吗?
答:
反应
磁控溅射
是磁控溅射的一种,磁控溅射工作气体一般为氩气,这样就可以产生溅射现象了,但是这是生产的膜和靶材材料相同,当引入氧气等
反应气体
是,就会在溅射的同时使靶材材料与氧气反应,形成氧化膜。
磁控溅射
中通入不同的
气体
其辉光颜色不同,为什么??
答:
跃迁会放出特定能量(大多是向外辐射光子)。由于能量量子化,能级差决定了所辐射的光子频率量子化,由E=hf 可得出所辐射光子的频率。不同频率的光对应不同的颜色。氦气---橘红 氖气---红 氩气---蓝紫 氪气---黄绿 氙气---与阳光颜色相同(参考氙气大灯)...
磁控溅射
真空附碳
溅射气体
最终去哪了
答:
溅射
过程是通过电能,使
气体
的离子(可以理解为为气体颗粒)轰击靶材(一般是金属溅射物),就像砖头砸土墙,土墙的部分原子溅射出来,落在所要镀膜的基体上的过程。 如果气体太多,气体离子在运行到靶材的过程中,很容易跟路程中的其他气体离子
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