粗糙度仪有哪几种测量方式？

Question

如题所述

Answer 1

粗糙度仪可分为接触式和非接触式。

1、接触式

通过机械探针与被测物体表面接触来进行测量的。当机械探针接触到被测表面时，测量系统会记录下机械探针的运动轨迹和力的变化。通过测量探针在表面上的运动和受到的力的变化，可以计算出表面的形貌参数。测量原理中的关键是探针与被测表面的接触和运动，因此需要保证探针的稳定性和精确性。

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2、非接触式

一般采用光学的原理。比如：白光干涉仪利用光干涉的原理，获取物体表面信息，是一种精密测量仪器，能对物体的表面粗糙度进行高精度测量。白光干涉仪的测量精度很高，精度可以达到亚纳米级别。它应用的行业很广泛，可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、6C产品、材料、液晶等领域。测量速率较慢、精度较高；对测量物体无损伤；对材料无要求，软质材料和尖锐产品也可测量。

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