平面度的测量值在不同的测量设备上可能会有所差异。高度测量与三坐标测量机都是常用的测量方法，但它们的工作原理和测量方式有所不同，因此可能导致测量结果有差异。
测量原理：高度测量主要是基于Z轴（垂直轴）的测量，而三坐标测量机则是在X、Y、Z三个方向上进行测量。由于这两种方法的工作原理不同，可能导致测量结果有所差异。
数据处理：三坐标测量机通常具有强大的数据处理能力，可以对测量数据进行复杂的分析和处理，从而得到更精确的测量结果。而高度测量可能只提供基本的平面度值。
使用环境：两种测量方法可能受到不同的环境因素影响，例如温度、湿度等，这也可能导致测量结果有所差异。
设备精度：不同的设备、品牌和型号可能具有不同的测量精度。例如，天行测量提供的高端三坐标测量机和全自动影像测量仪都具有非常高的测量精度。
结论：如果高度测量平面度值与三坐标测量平面度值存在差异，建议首先分析这两种测量方法的原理、使用环境、设备精度等因素，以确定哪种测量结果更为可靠。在许多精密制造场合，三坐标测量机因其高精度和强大的数据处理能力而被广泛认为是更为准确的测量方法。但最终的决策还需要根据具体的应用场景和需求来确定。