工作原理是：利用FFU风机过滤单元内部的风机（电机+叶轮）将空气（风）吸入，所吸收的空气（风）经过FFU下面的HEPA（
高效空气过滤器）或者ULPA（超高效过滤器）滤网，将空气中的大颗粒的尘埃微粒子过滤掉，最后把新风以0.45m/s±10%的风速均匀送到洁净室。
能使用FFU的
无尘室一般来说，都是洁净度在千级以上的。其基本结构是空气首先经过MAU（首次过滤，初中效过滤器）进入无尘室顶部，再通过FFU（二次过滤，HEPA或ULPA）将风送进无尘室内，送下来的风通过高架地板，再进入回风箱送到无尘室顶部。
FFU是风机和过滤器的组合，也可以称为”自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的”干式”
垫片密封龙骨框架上。FFU系统具有安装方便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，已经应用于医用，电子，芯片，
生物制药等方面。
FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的（HEPA）或超（ULPA）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。