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真空镀膜镀不上的原因
溅射靶材一切完好,电源都是好的,玻璃从真空仓室出来之后,完全是玻璃原片,请各位前辈提点一二!!谢谢
是ITO真空镀膜,靶材已经起辉,完全没有电阻。
开始的时候镀膜完全正常,调试工艺之后,发现镀不上膜了。
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推荐答案 2009-04-10
那个溅射靶材一切完好,电源都是好的,这是代表什么?代表正常工作吗>?
还是代表它一个螺丝没少?讲得不具体?
首先你自己了解溅射工艺吗?如果是做这行的,基本条件就不用谈了!以下两点是必须你要具备溅射条件才有效成立,不然也是白说的.
1:溅射首先要看它起辉没?
2:如果第一点也具备那代表它进行了溅射程序!但溅射是不是时间过短,功率过小,导致膜层太薄,你看上去以为没有镀!
3:还有点是比较少见的情况,阴极装置有问题,或者是阳极偏压装置出现问题!
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其他回答
第1个回答 2009-04-09
1、可能氧过量。
2、靶未启辉。
3、没抽至高真空。
第2个回答 2009-04-09
请检查一下气源工作是否正常,还有实际的真空度有没有达到!
第3个回答 2009-04-09
要讲清楚镀什么
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