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真空镀膜机精抽太慢的原因
如题所述
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推荐答案 推荐于2017-11-26
1、扩散泵不给力了
用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限
2、系统有微漏
慢慢检漏吧,看看保真空时间达不达标
3、箱体太脏
太脏放气量就大了
4、前级不行
机械泵或机械泵加罗茨泵的真空不行,可以用电阻规单独检测前级管道。
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其他回答
第1个回答 2015-10-19
请详细说明,什么设备 什么泵 泵油颜色 原来多长时间 现在多长时间 多长时间开门 一次 开门多久 大气相对湿度等
1、精抽 速度慢不慢?如果不慢 证明精抽部分和真空室不漏气
2、粗抽泵油颜色 是否乳化
3、粗抽管道是否漏气,可采用盲板加规管堵在真空泵的抽气口段 判断2 、3 问题
4、如果2、3没有问题,请考虑真空室内脏污问题 清理干净先
第2个回答 2013-10-22
扩散泵温度低,扩散油少了,漏气,等
第3个回答 2013-10-28
有地方微漏,需检漏。或测漏率确认。
腔体清洁不够
停机时间较长,比较难抽。确认之前的数据对比。
冷pump是否需再生
相似回答
600
真空镀膜机抽真空慢
是什么问题
精抽慢
粗抽快
答:
1有可能是真空室体保养不够,里面有太多的沉积杂物,吸附了大量的气体,解析较慢影响精抽
。2.
高真空泵性能下降
,如油氧化,油过多或过少。3.真空室体有很小的漏点,粗抽时不明显,主要影响精抽。可质谱仪简陋或做压升率判断。希望能对你有所帮助!
真空镀膜机
粗抽比以前稍微慢一点,
精抽很慢
,是不是机械泵的问题啊?机...
答:
机械泵有个圆的观察孔,那个玻璃上中间有个红点,那个就是标准线,高出一点没有关系的,不要加的太满了,有泡是正常的,因为
机器
在运作。原则上油满了观察孔是不正常的,油加多了。建议你放一点出来。
真空镀膜
镀出产品发黄和抽气慢什么问题
答:
真空镀膜机抽气很慢的原因:很多原因,
比如说密封圈没密封好 产品Boss柱有水 刚换完靶材会有这现象
1.
真空室内太脏
,先抽一个极限真空.真空系统有漏气 2.去解决漏气的问题高真空抽不上去有两个原因。如果你没有检漏仪,以确认真空室内放气量的大小,然后做一个压升率测试,可以做一个彻底的真空测...
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