真空镀膜机蒸发完材料，把阀门全部关掉的时候真空计很快就倒到3.0的负1了，而且精抽的时候很慢，请哪

Question

真空镀膜机蒸发完材料，把阀门全部关掉的时候真空计很快就倒到3.0的负1了，而且精抽的时候很慢，请哪位师傅给推断一下是不是真空室里漏气啊？谢谢了！

Answer 1

这种现象还不能确认为漏气，这只是保压力。真空腔查漏需先查抽速。看在多少分钟可达到6.0*10-3.。你可把抽气时间与最新机时的抽速时间对照一下，就可得出是否漏气。

Answer 2

如果蒸发后真空度降低。应正常：1：蒸发的材料可能导致真空度降低；2：可能蒸发的材料具有导电性，采用电离真空计，可能受影响；3：发热，可以使附着在表面的气体分子，释放出来，影响真空度。
仅供参考

Answer 3

蒸发完了后就是进气了啊，追问

还没往里面充气呢？就到3.0的负1了？

追答

那就是假真空啊，就是在准备蒸发前扩散泵停止后真空值降低，那就是瞬间的，然后蒸发后就直接进气了，那么在扩散泵停止待蒸发的那几秒内，真空值处于假真空状态下，可能是有轻微漏气，湿度，或者产品治具之间缝隙里有残留空气。