pvd靶材为什么内部有磁铁

Question

pvd靶材为什么内部有磁铁

Answer 1

靶材内部不带磁铁，而是靶材的铜背板后面有磁铁，为的是让电子围绕着磁力线行成螺旋状的轨迹来轰击靶材。

Answer 2

PVD靶材内部的磁铁是为了辅助制备高质量的薄膜。在PVD过程中，靶材表面的原子或分子会被高能粒子轰击后喷出，然后在衬底表面沉积形成薄膜。如果靶材表面不均匀或存在气孔等缺陷，这将导致最终薄膜的质量不佳。而使用内部磁铁可以帮助提高靶材表面的均匀性和平整度，减少可能产生的缺陷，从而得到更高质量的薄膜。此外，磁铁还可以调节靶材表面的离子溅射方向和轨迹，使其更加稳定和可控。