真空镀的应用

如题所述

目前水电镀在重工业上应用较多(汽车等),而真空电镀则广泛应用于家用电器、化妆品包装。
如果真空电镀的硬度能达到水电镀的等级,那么水电镀将要消失了。
目前很多手机上的金属外观件,都采用PVD真空离子镀,不仅能够提供漂亮的颜色而且耐磨性很好。不过比较贵,成本较高。
溅射镀:磁控溅射镀膜设备:
磁控溅射镀膜设备是一种多功能、高效率的镀膜设备。可根据用户要求配
置旋转磁控靶、中频孪生溅射靶、非平衡磁控溅射靶、直流脉冲叠加式偏压电源等,
组态灵活、用途广泛,主要用于金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷等)的工件镀铝、
铜、铬、钛金、银及不锈钢等金属膜或非金属膜及渗金属DLC膜,所镀膜层均匀、
致密、附着力强等特点,可广泛用于家用电器、钟表、工艺美术品、玩具、车灯
反光罩以及仪器仪表等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。
a旋转磁控溅射镀膜机;旋转磁控溅射镀膜技术,是国内外最先进的磁控溅射镀膜技术,靶材利用率达到70~80%
以上,基体镀膜均匀,色泽一致。
b平面磁控溅射镀膜机;
c中频磁控溅射镀膜机;
d射频磁控溅射镀膜机。
可以在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)的工件镀金属铝、铜、钛金、锆、银、不锈钢及金属反应物(氧化
物、氮化物、炭化物)、半导体金属及反应物。所镀膜层均匀、致密、附著力好等特点。
一、 单室/双室/多室磁控溅射镀膜机
该镀膜机主要用於各种灯饰、家电、锺表、玩具以及美术工艺等行业,在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)等
制品镀制铝、铜、铬、钛、锆、不锈钢等系列装饰性膜层。
技术指标:
真空室尺寸:可以根据用户的要求设计成单室或双室或多室
极限压力:8×10-4Pa
恢复真空度时间:空载 从大气至 5 × 10-2Pa ≤ 3或8min(根据用户要求定)
工作真空度:10~1.0× 10-1Pa
工艺气体进入装置:质量流量控制器(可选配自动压强控制仪)
转动工件架形式:公 / 自转工件架
溅射源:矩形平面溅射源(1~4个)/柱状溅射源(1个)/混合溅射源
可以选配:基片烘烤装置;反溅射清洗
二、单室/双室/多室磁控反应溅射镀膜机
该镀膜机主要用於太阳能吸热管所需要的镀膜涂层(如Al—N/Al或Cu—C/1Cr18Ni9Ti);高级轿车後视镜镀膜
(蓝玻);装饰仿金、七彩镀膜;透明导电膜(ITO膜);保护膜。
技术指标:
真空室尺寸:可以根据用户的要求设计成单室或双室或多室
极限压力:8×10-4Pa
恢复真空度时间:空载 从大气至 5 × 10-2Pa ≤ 15min(根据用户要求定)
工作真空度:10~1.0× 10-1Pa
工艺气体进入装置:质量流量控制器(可选配自动压强控制仪)
工作气路:2路或3路
转动工件架形式:公 / 自转工件架
溅射源:矩形平面溅射源(1~4个)/柱状溅射源(1个)/混合溅射源
三、多功能镀膜机
设备基本配置:
真空室
工件转动系统
真空抽气系统
工作气体供气系统
溅射系统:平面溅射/柱状溅射/中频溅射/射频溅射系统
动系统
控制系统
冷却系统
技术指标:
真空室尺寸:φ600×800 φ850×1000 φ1000×1200 φ1100×1500 可以根据用户的要求设计成箱式
极限压力:8×10-4Pa
恢复真空度时间:空载 从大气至 5 × 10-2Pa ≤ 15min(根据用户要求定)
工作真空度:10~1.0× 10-1Pa
工艺气体进入装置:质量流量控制器(可选配自动压强控制仪)
工作气路:2路或4路
转动工件架形式:公 / 自转工件架
溅射源:矩形平面溅射源(1~4个)/柱状溅射源(1个)/中频溅射源/射频溅射源/混合溅射源
用途:本设备应用磁控溅射原理,在真空环境下,在玻璃、陶瓷等非金属;半导体;金属基体上制备各种金属膜、合
金膜、反应化合物膜、介质膜等等。
四、实验系列磁控溅射镀膜机
技术指标:
真空室:φ450×400
极限压力:5×10-5Pa
工作压力:1~1.0× 10-2Pa
真空系统主泵:涡轮分子泵
阴极靶数量:2~5个
工作气体控制:质量流量控制器,自动压强控制仪
工作气路:2路或4路
靶电源:直流磁控溅射源(10000W),
中频电源(10000W),
射频电源(2000W)。
工件转动:行星式公自转
工件负偏压:/
性能特点:磁控靶数量多,靶材种类变化大,各种参数变化范围大,所镀制膜层有金属、合金、化合物,可镀制单
层或多层膜。
五、中频磁控溅射镀膜机
中频磁控溅射镀膜技术是磁控技术另一新里程碑,是镀制化合物(氧化物、氮化物、碳化物)系膜的理想设备,
彻底克服了靶打弧和中毒现象,并具溅射速率快、沈积速率高等优点,适合镀制铟锡合金(ITO)、氧化铝(AL2O3)
、二氧化硅(SiO2)、氧化钛(TiO2)、氧化锆(ZrO2)、氮化硅(Si3N4)等,配置多个靶及膜厚仪,可镀制多种多
层膜或合金膜层。
六、射频磁控溅射镀膜机
具有溅射速率高,能镀任何材料(导体、半导体和介质材料)。在低气压下等离子体放电,膜层致密,针孔少。
主要技术参数
真空室尺寸:F500´450(mm)
极限真空度:优於4´10- 4 Pa (3´10- 6Torr)
溅 射 靶: F 100mm磁控溅射源三只溅
射功率: 直流5千瓦,射频2千瓦

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第1个回答  2024-05-10

一、镀膜仪的用途

镀膜仪是一种常用的物理化学测试仪器,它主要用于分析和测试各种材料表面的膜层厚度、成分、显微结构和物理化学性质等。因此,它在材料科学、化学、物理、光电、半导体、纳米科技等领域都有广泛的应用。

1.材料科学领域:用于测试各种金属、陶瓷、玻璃、聚合物等材料表面的涂层厚度、成分、硬度和耐磨性等。

2.半导体工业:用于测试各种半导体材料的薄膜厚度、光电性能和电学性能等。

3.纳米技术:用于测试各种纳米材料的粒径和表面的涂层膜厚度等。

4.光电工业:用于测试各种光学膜层、滤波片、反射镜和透镜等光电元件的性能。

二、镀膜仪的工作原理

镀膜仪根据不同的测量需求,可以分为多种类型,例如旋转溅射镀膜仪、磁控溅射镀膜仪、真空蒸发镀膜仪、激光沉积镀膜仪等。不同类型的镀膜仪,其工作原理也有所不同,但大多数操作原理类似。

一般来说,镀膜仪的原理是利用电子束、离子束或光束等物理和化学方法,在真空环境下将精细化合物或单质材料蒸发并沉积在待测样品表面,然后使用探测器测试沉积层的厚度和成分等参数。通过分析这些参数的变化,判断样品表面是材料的沉积层,还是偶然存在的污染物。

三、常见的几款镀膜仪

1.旋转溅射镀膜仪:操作简单便捷,适用于大量生产和需要高生产效率的项目,但有一定的限制条件,如样品数目有限,厚度均匀度难以保证。

2.磁控溅射镀膜仪:适用于各种材料,可以在大型样品上获得均匀厚度的膜层,但操作相对较为复杂,需要消耗大量能量和材料。

3.真空蒸发镀膜仪:便于使用,适合薄和超薄层的形成。

综上,镀膜仪在当今的化学物理材料科学研究中扮演着重要的角色,它不仅可以对材料进行深入的分析和研究,还可以制造出更加高性能的材料,推动相关领域的发展和进步。

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