三坐标测量机，又称CMM，是由众多知名厂家生产，如3DFAMILY、蔡司(ZEISS)、海克斯康(HEXAGON)、欧潼(EUROTONE)、温泽(WENZEL)、三丰(Mitutoyo)、佛迪、雷顿、爱德华、西安力德、思瑞等，提供了多样化的机型选择。
其中，一款机型的行程参数如下：X轴2500mm，Y轴1500mm，Z轴1000mm。采用独特的三轴花岗岩结构和四面全环抱的德式活动桥式设计，配备直流伺服系统与预载荷高精度空气轴承。测量系统使用的是RENISHAW开放式光栅尺，分辨率达到0.1μm，测头系统采用雷尼绍控制器、测头和测针，高精度的00级花岗岩平台保证了测量的稳定性。
使用环境要求在温度(20±2)℃，湿度40%-70%，温度梯度1℃/m，温度变化1℃/h的条件下，空气压力保持在0.4 MPa - 0.6 MPa，空气流量为25 L/min。精度方面，长度测量精度MPEe为≤2.1+L/350 μm，探测球精度MPEp为≤2.1μm。
主要特点包括：采用天然高精度花岗岩导轨，确保三轴一致性，避免材质热膨胀系数不同导致的精度误差。花岗岩与航空铝合金相比，具有更稳定的热膨胀系数和更高的热传导性能。此外，全天然花岗岩四面环抱式导轨结构，加上预应力气浮轴承，保证了长期的精度稳定性。
上海欧潼的CMM在出气量上采用小孔出气专利技术，每分钟耗气量仅为30L/MIN，这有助于抵消轴承摩擦产生的热量，提高设备的热稳定性。与其他供应商相比，欧潼的这一技术显著优于其他公司的50-150L/MIN水平。
其他关键部件如光栅尺、传动系统和软件方面，三轴均使用英国RENISHAW镀金光栅尺，传动系统采用钢丝增强同步带，软件为RATIONAL-DMIS，提供了强大的测量功能和易用性。这些特点使得三坐标测量机适用于大型零件检测、租借服务、在线检测和各种复杂工件的测量任务，如汽车焊装夹具、管件检测等。
三坐标测量仪三轴均有气源制动开关及微动装置，可实现单轴的精密传动，数据采集系统采用高性能手动三坐标专用系统，可靠性好。应用于产品设计。模具装备。齿轮测量。叶片测量机械制造。工装夹具。汽摩配件。电子电器。