ç¡
çæ°¢åç©æ¯æå«æ
ç¡
å
ç´ åæ°¢å
ç´ ä¸¤ç§å
ç´ çååç©ã
ç¡
çæ°¢åç©æSiH4ã Si2H6çã
ç¡
ç·å³ç¡
ä¸æ°¢çååç©ï¼æ¯ä¸ç³»åååç©çæ»ç§°ï¼å
æ¬ç²ç¡
ç·( SiH4) ãä¹ç¡
ç·( Si2H6) åä¸äºæ´é«çº§çç¡
æ°¢ååç©ãç®ååºç¨æå¤çæ¯ç²ç¡
ç·ãä¸è¬æç²ç¡
ç·ç®ç§°åç¡
ç·ã
ç¡
ç·ä½ä¸ºä¸ç§æä¾ç¡
ç»åçæ°ä½æºï¼å¯ç¨äºå¶é é«çº¯åº¦
å¤æ¶ç¡
ãåæ¶ç¡
ãå¾®æ¶ç¡
ãéæ¶ç¡
ã
æ°®åç¡
ãæ°§åç¡
ãå¼è´¨ç¡
ãåç§éå±ç¡
åç©ã å å
¶é«çº¯åº¦åè½å®ç°ç²¾ç»æ§å¶ï¼å·²æ为许å¤å
¶ä»ç¡
æºæ æ³å代çéè¦ç¹ç§æ°ä½ãç¡
ç·å¹¿æ³åºç¨äºå¾®çµåãå
çµåå·¥ä¸ï¼ ç¨äºå¶é 太é³çµæ± ãå¹³æ¿æ¾ç¤ºå¨ãç»çåé¢ééå±ï¼ 并ä¸æ¯è¿ä»ä¸çä¸å¯ä¸ç大è§æ¨¡ç产ç²ç¶é«çº¯åº¦ç¡
çä¸é´äº§ç©ãç¡
ç·çé«ç§æåºç¨è¿å¨ä¸æåºç°, å
æ¬ç¨äºå¶é å
è¿é¶ç·ãå¤åææã
åè½ææãçç©ææãé«è½ææççï¼æ为许å¤æ°ææ¯ãæ°ææãæ°å¨ä»¶çåºç¡ãç¡
ç·å以å®ç¹æçèªçãçç¸æ§èè称ãç¡
ç·æé常宽çèªåçç«èå´åæ强ççç§è½éï¼å³å®äºå®æ¯ä¸ç§é«å±é©æ§çæ°ä½ã