等离子清洗机清洗原理如下：
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的 真空度 ，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的 化学性能 ，如 氧气 的等离子体具有很高的氧化性，能氧化 光刻胶 反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的 各向异性 ，这样就能满足刻蚀的需要。. 利用等离子处理时会发出 辉光 ，故称之为 辉光放电 处理。.
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