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为什么直流磁控溅射镀Cr膜是彩色的
如题所述
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推荐答案 2010-09-29
膜的厚度问题
看过肥皂泡上五颜六色的东西吧?那个就是光的干涉。其实你这个是一回事
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相似回答
...结果
膜是彩色的
,Ic=1.5A,基体偏压为-80V,是
什么
原因啊
答:
直接原因是:膜的厚度不均匀
。可以试一下,降低镀膜速度、让基片旋转灯方法。
利用
直流磁控溅射
Ni靶通氧镀出的
膜是彩色的
,
为什
麼?
答:
其原因是溅射不完全,不稳定造成的
。如果是国内设备的话,很难解决。调整电压波动、真空室内的气场稳定及平衡。另外,膜层厚度改变较小的情况下效果不大。建议:在基片温度较低的情况下,通氧进行溅射镀膜。
真空
镀膜
中用
磁控溅射
可以镀出
彩色的
吗?用
什么
样的气体?用什么样的靶...
答:
可以做 用O2气 加钛把才 可以镀七
彩色
镀膜
时间10分钟 气体4的X10-1
大家正在搜
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