如题所述
针座其实也可称探针座,但在半导体业界称之探针座主要应用Probe上,半导体行业以及光电行业的测试。
探针座由XYZ三轴组成,一般采用磁力或者真空吸附的形式固定在机台上面。
主要作用是固定并移动夹具,从而移动探针,使样品与pad电极接触。
附图可以参考下。一般做直流可以选用微分头型探针座,射频可以选用丝杆型探针座。