使用富森钛金真空镀膜机的步骤如下：
首先，操作电控柜：
1. 启动水泵和气源。
2. 打开总电源。
3. 依次开启维持泵和真空计电源，将真空计档位设置为V1，待其读数小于10后，继续进行。这个过程大约需要5分钟。
4. 接着，启动机械泵和予抽，打开涡轮分子泵电源，切换真空计到V2位置，抽真空直到值小于2，大约耗时20分钟。
5. 观察涡轮分子泵读数稳定在250后，关闭予抽，开启前机和高阀，继续抽真空，直到真空度达到适宜水平。在真空度达到2×10-3后，可以开启电子枪电源。
然后，操作DEF-6B电子枪电源柜：
1. 打开总电源。
2. 同时开启电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按下电子枪控制Ⅰ电源并设置延时，延时后电源和保护灯亮起。3分钟后，延时和保护灯熄灭。若后门未关闭或水流继电器有问题，保护灯会持续亮起。
3. 调节高压至10KV以上，束流控制在200mA左右，帘栅电压为20V/100mA，灯丝电流保持在1.2A，偏转电流在1~1.7A范围内波动。
最后，关机步骤：
1. 关闭高真空表头和分子泵。
2. 在分子泵显示值降低到50时，依次关闭高阀、前级泵和机械泵，这个过程大约需要40分钟。
3. 当分子泵显示值降至50以下时，再关闭维持泵。
扩展资料真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。