氮化钛靶材需要铜背靶吗

如题所述

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第1个回答 2022-11-08

需要。强烈建议靶材绑定背靶使用。靶材质脆，受热不均匀易裂。不建议超过3mm。推荐绑定铜背靶，以增强导热导电性。减少靶材碎裂的可能。

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