哪位大神给详细说说白光干涉仪的工作原理？急用

Question

老师让我搞懂这块的知识，但网上的都太少了不够详细

Answer 1

白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

白光干涉仪专用于非接触式快速测量，精密零部件之重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸，其测量精度可以达到纳米级！目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。

如果觉得对你有帮助，欢迎追问，我们是专门做这一块的。工作原理和技术参数都可以很详尽的分享你。

Answer 2

白光干涉仪的工作原理是光干涉，两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉。

当仪器扫过点A和点B时，点A和点B的干涉条纹高度峰值之间的差即为A、B两点的高度差。

白光干涉仪的光干涉原理分为两类：PSI相移干涉法和VSI垂直扫描干涉法。

1、PSI相移干涉法：

相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为Ø，距离参考面的高度为h，则Ø=4h/λ。借助相位测量法，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（Ø），然后将其转换为高度h。

2、VSI垂直扫描干涉法：

垂直扫描干涉法物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮度达到最高。通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z轴高度可测出3D轮廓即高度差。

Answer 3

*柏光干涉仪：
原理：光源所发射的光，经过聚光镜、
光澜和准直物镜后形成平行光，透过标准
具贴由分光板和补偿板分为两部分，放入
标准具后，光束将在标准具内多次反射，
依次透出光束1、1、l--，相邻两光束间
光程差2d，如果这些光束经分光镜后分为
向上的光束目、W、I-一和向右的光束"、
"、-，如果参考镜、测量镜到分光板
反谢面有相等的光程，则相干光束和”、
“和”、Ⅲ和IⅢ·一的光程分别相等，在视
场中心产生零级暗条纹。移动测量镜、当
移动量正好等于d时，光束”、I"、lI……
都增加2d的光程，这样”、”、I…一将
分别和Ⅱ、Ⅲ、V-一对应地在视场中心产
生一个白光零级暗条纹

Answer 4

两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定于测量光程差的精度，干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10-7米)，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。

Answer 5