真空溅射镀膜机镀铝靶

Question

各位高手，请教个问题，我的真空溅射镀膜机镀Ag时正常，用兆欧表测绝缘电阻为0.1兆欧。换铝靶后，绝缘电阻为0.3兆欧，功率加不上去，从小到大逐步调节功率，每次溅射正常，到要求值后溅射正常。三天之后换其他材料靶。今天又换上会铝靶，绝缘电阻为0.3兆欧，功率加不上去，从小到达逐步调节功率，0.1KW正常，电压275v;0.5KW功率上不去，只有0.07KW，电压不到100v，这是为何？另靶的绝缘最少要有多少？
(靶是磁控靶）

Answer 1

主要原因不是功率，而是铝靶在空气暴露时（即使充气的一瞬间）迅速被氧化，氧化铝的溅射产额非常低，需要将这层氧化铝清除完毕后，才到溅射纯铝的状态，电压才会正常，这个过程就是常说的洗靶。纯铝氧化速度很快，如换做其他不易氧化的靶材，洗靶过程会大大缩短。

Answer 2

现在和你的绝缘没有关系了。你把真空度抽高一点就好了。你试试一定可以的。