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真空泵在真空镀膜机中有什么作用
如题所述
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推荐答案 2008-11-24
抽真空用;
因为在进行真空镀膜的时候,薄膜材料要先蒸发成为原子或分子,然后以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成一层薄膜。如果镀膜室里面残余的气态分子过多,那么就会和蒸发材料的原子或分子发生频繁的碰撞,影响蒸发材料的原子或分子到达基片,形成薄膜;另外,残余气态分子过多会使得薄膜的纯净度和牢固度下降,同时使得蒸发材料容易被氧化而产生杂质。
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其他回答
第1个回答 2015-11-24
真空镀膜设备里的真空泵具有抽真空作用,因为在进行真空镀膜的时候,薄膜材料要先蒸发成为原子或分子,然后以较大的自由程作直线运动,碰撞基片表面而凝结,形成一层薄膜。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
第2个回答 2008-11-24
真空泵是真空镀膜机重要的组成部分,真空镀膜是在真空状态下进行的,而达到真空状态这一过程就由真空泵来完成。根据工艺的要求,真空镀膜机所需真空度不一样,真空泵的配置也不一样:有机械泵+罗茨泵;机械泵+扩散泵;机械泵+罗茨泵+扩散泵;机械泵+罗茨泵+分子泵等。
第3个回答 2008-11-24
真空镀膜时应该分两步抽真空,第一部抽低真空,做高压电子轰击,然后抽高真空,蒸发镀膜材质(一般是铝)。抽真空可以洁净镀膜环境还可以降低镀膜材质的蒸发温度。
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