热电偶真空计是利用气体分子的热传导现象，热电偶接在白金或钨的细线上。这段细线通过电流后会发热。发出的热量通过周围气体分子的热传导，或细线本身的固体热传导，或热辐射放出。利用气体分子承担的热传导量与压力成正比的特点是此真空计的原理。一般范围在1-300Pa。
复合真空计实际上是两个真空计通过一些手段做到一个小箱里，低真空的是电阻（也叫皮拉尼）真空计或热偶真空计，高真空的一般都是电离真空计。从大气到0.1Pa左右时，是低真空计工作，到了这个内部设定值后，通过已设计的电路，切换到高真空部分，电离规管灯丝开始得电，即电离计开始工作。
电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生电离，产生正离子和次级电子。其电离几率与电子能量有关。电子在飞行路途中产生的正离子数量正比于气体密度，在一定温度下正比于气体的压力，因此，可根据离子电流的大小指示真空度，这是电离真空计的工作原理。
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