在真空镀膜时，用时太长

Question

在真空镀膜时，前几个步骤如开粗抽阀，开罗茨泵，开前置阀，关粗抽阀，开精抽阀，开电离计，用时和抽速都正常，就是电离打开以后到蒸发以前用时5分钟，现用时20几分钟请问为什么？

Answer 1

可能漏气了，但不严重，也可能真空系统有一点老化，如粗真空泵油，如高真空泵油，冷却水水位是不是低了，水温度比以前高了都有可能，建议，检查粗真空泵油油位和使用时间，少上了加，不行就换，检查水位高低。如果不能解除只能接着用，慢慢的问题就会体现出来，问题大了才好找，如果是小漏气不好查，高真空泵油老化也不会很快，有可能是天气变热，冷水机性能不好。感觉你说的好像是国产机。国产机就很正常了，边用边修，性能不稳。

Answer 2

你的问题就是高真空抽不上去，机器太老了还是管道部件等久不清理了？
建议：1 天热，阴极冷却水温度可以适当提高，减少机器“流汗”；
2 检查泵油，添加或换新，你用的是扩散泵吧？扩散泵的冷却效果要保证，检查冷却水流量和冷却水温度和以前有没有差别；
3 清理腔内壁、挡板和抽气管道，老设备的抽气管道有可能被污染；
4 注意被镀基体的干燥、清洁。
试一下吧，希望对你们有帮助。