西安理工晶体科技有限公司的历史业绩

如题所述

1. 1961年,与中国科学院半导体研究所合作,成功研制出中国第一台晶体生长设备——TDK-36型单晶炉。
2. 1972年,成功研制出中国第一台具有等径控制功能的TDK-40型单晶炉。
3. 1980年,成功研制出中国第一台高温氧化物晶体炉——SJ78-3型激光晶体炉。
4. 1983年,成功研制出中国第一台软轴提拉晶体生长设备——TDR-50型单晶炉。
5. 1984年,成功研制出中国第一台光导纤维拉丝设备——SJ81-4型光导纤维拉丝炉。
6. 1990年,成功研制出中国第一台化合物半导体生长设备——TDR-GY30型高压单晶炉,以及中国第一台大直径4区熔法晶体生长设备——TDL-FZ35型区熔单晶炉。
7. 1994年,成功研制出中国第一台MCZ法晶体生长设备——TDR-50AC磁场单晶炉,以及中国第一台大直径锗晶体生长设备——TDR-60CPA型锗单晶炉。
8. 1995年,成功研制出中国第一台高精度计算机等径控制系统的晶体生长设备——TDR-62A(B)型单晶炉,以及中国第一台大型下降法晶体生长设备——TDR-90X型晶体炉。
9. 1996年,成功研制出中国第一台VGF法晶体生长设备——TDR-ZY40B型中压单晶炉。
10. 1997年,成功研制出中国第一台直径80mm晶体生长设备——TDR-80型单晶炉。
11. 1998年,成功研制出中国第一台适宜6um专用晶体生长设备——DR-70型单晶炉。
12. 1999年,成功研制出中国第一台高精度光学晶体设备——TDL-J75型光学晶体炉。
13. 2000年,成功研制出中国第一台三温区非线性光学晶体炉——TDR-Y60A型光学晶体炉,以及中国第一台适宜多种光学晶体生长炉——TDL-J50型光学晶体炉。此外,还成功研制出中国第一台铌酸锂、钽酸锂专用晶体生长设备——TDL-N60型晶体炉。
14. 2001年,成功研制出中国第一台大直径光学晶体生长炉——TDL-J60型光学晶体炉,以及中国第一台生长Φ300—400mm大直径锗单晶晶体设备——TDR-Z80型锗单晶炉。
15. 2001年,成功研制出稀土金属提纯设备——TDL-FZ50型晶体炉。
16. 2002年,成功研制出生长碳化硅晶体设备——TDL-16A型碳化硅炉,以及化学计量比铌酸锂晶体设备——TDR-H50C型晶体炉。
17. 2004年,成功研制出4—6GaAs晶体设备——TDR-GY652型高压晶体炉。
18. 2005年至2006年,相继成功研制出多晶硅生产辅助设备——TDL-GX36、TDL-GX36A型硅芯炉及TDL-FZ26、TDL-FZ26A型磷、硼检炉。
19. 2006年,成功研制出中国第一台生长12英寸大直径硅单晶的生长设备——TDR-120型单晶炉。
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