在电力锅炉补给水系统超纯水制备工艺中，主要有三种基本方法。首先，离子交换树脂法以其初期投资少和占用空间小为优点，但缺点在于需要频繁再生树脂，消耗大量酸碱，且对环境有潜在影响。
第二种方法采用两级反渗透设备，尽管初始投入高于树脂法，但无需再生树脂。然而，膜元件需要定期清洗或更换，且水质通常只能达到1us/cm，可能不够纯净。
相比之下，第三种方案采用反渗透预处理加电去离子（EDI）装置，是最经济且环保的选择，无需酸碱再生即可连续制取超纯水。尽管初始投资较高，但对环境影响较小。这种工艺在高压锅炉补给水处理中广泛应用，如大型工厂和热电厂，使用先进的反渗透膜元件和前、后处理设备，能满足GB1576-79和DL/T561-95等标准。
在膜处理系统中，超滤作为前处理，通常使用1mm中空纤维去除悬浮物和胶体，但会遇到膜污染和堵塞问题。为解决此问题，预过滤器和絮凝剂如PAC被用于改善水质并降低膜阻力。对于电厂锅炉补给水系统，溶氧量要求通常低于0.3 mg/L，因此脱气膜应在低于5.33Kpa的真空度下运行。
整个系统由工业电脑程控控制，能自动启动停止，添加药剂，冲洗，并监测运行参数，便于生产管理。
长期的锅炉运行实践表明：锅炉的给水水质，是影响锅炉及热力系统安全、稳定、经济运行的重要因素之一。没有经净化处理的水中含有许多杂质，特别是钙镁离子，这些杂质如果随给水进入锅炉系统，将会造成极大危害。