仪器的维护分为定期维护和日常维护，目的都是排查出故障隐患，可以及时采取预防措施，避免故障的发生。
定期维护是固定期限对大型重点设备的彻底维护保养。这一工作一般由维修人员与仪器专责人共同完成，主要工作是对仪器各单元内部元件的工作状态进行检查和优化，各动作参数进行核对校准，并检查各易损件是否完好，对不良和可疑元件进行更换，以及仪器内部积尘的清扫等等。
（1）日常维护是每天对仪器设备的维护检查，包括每班的点检和每日的巡检。每台仪器的工作要求不尽相同，所以对每台仪器的点检内容、项目也不相同，这一工作当班操作者应严格按照点检卡对所用仪器逐项进行仔细检查。
①使用、维护人员在开箱后，应认真研读随机带的说明书，掌握其结构、原理、功能、操作要点，维护与保养要求；
②仪器内外应保持干净，注意防潮湿、防锈蚀、防干扰；
③精密仪器要轻取轻放，光学部件要用擦镜纸，不能使用湿布擦抹；
④对电子线路板要清除灰尘，检查仪器接地情况；
⑤机械及传动部分要除锈迹、污物，并且做好润滑上油。
（2）对于使用频次高的仪器维护方法：
①按照仪器的特性，属于热交换的，要定期检查通风口，及时清理灰尘及燃烧杂物；
②属于油压机械的或内有介质溶液的，要定期检查介质变色或界面情况，及时更换介质或适量增减；
③属于易损件的，要及时清理更换，如气相色谱仪的隔垫；
④有水循环的仪器，要防止因粉尘、浮游物等聚集，导致水流量不足，影响冷却效果或者因电导率升高影响仪器的性能；
⑤使用气源的仪器，要定期用肥皂水检查气路接头，防止漏气引起事故，或影响结果的准确性；
（3）对于使用频次低的仪器的维护方法：
①电子仪器和分析仪器要定期通电预热，防止电解电容变质，电子线路板局部短路或性能不良，影响仪器使用效果；
②对于用干电池的仪表，长期不用时要将电池取出后存放，防止电池腐烂损坏电极；
③微安表要将输入端短接后存放，灵敏检流计要将输入线圈锁住后存放；
④经常检查仪器的干燥硅胶，以防内部件受潮，影响仪器的稳定性指标；
⑤光学通道要定期除尘，除污及霉点。
现将所有仪器的共有部分进行简单介绍：
电路系统
目前所使用的仪器设备，其要求供电电压有220V、200V和110V等几种，所以在供电电源和仪器之间一般都有稳压电源或变压器。几乎所有的稳压电源都有电压指示，日常要注意的是其输出电压是否正常，如有异常，就不要开机使用，并马上通知维修人员。
所有的仪器设备都要求有良好可靠的接地。可靠的接地线路，不但可以有效避免漏电对人身和设备的损害，而且可以屏蔽外界电磁场对仪器的干扰，使仪器分析数据更稳定。接地的检查由维修人员定期进行，主要检查各联结点是否牢固可靠，并定期测量接地电阻。
仪器内部各特定电压、电流部分：主要是仪器工作中某一部分所特殊要求的特定电压、电流，如：
（1）X射线荧光光谱仪射线管的工作电压、电流；（2）ICP功率管的Vp高压和Ip电流；
（3）碳硫仪振荡管的板流等等。
这一部分一般都有报警装置或检控仪表，在日常检查中，注意观察各监测仪表所示是否正常，指示是否有波动，有无报警等。
风路系统
冷却、散热用风路：主要是指仪器机箱上安装的各散热风扇和冷却系统上的散热风扇。其主要作用是增加空气循环，降低温度，以避免仪器内元件或单元（如电源）温度过高引发仪器故障。检查时主要观察风扇运转是否正常，有报警装置的注意其有无报警。
恒温循环用风路：仪器内部有些部位是要求恒温的，如ICP的光室。这些部位都有恒温装置，其工作一般是由一个加热元件提供热量，依靠风扇使热量均匀散开，并有温控系统来监测并控制加热元件的工作与否，以实现恒温，如果风扇损坏，则会使整个环境温度不均，影响分析结果的稳定。一般都设有温度显示或温度报警，在检查时要注意有无温度报警，温度是否在指定范围之内。
抽排风设施：抽排风的作用是强制冷却和排除有毒有害尾气，要求安装抽风的设备有ICP分析仪和原子吸收分析仪。抽排风设施也是每天必须检查的，主要看其工作是否正常，有无异常声音等。
水路系统
仪器中的循环水主要起冷却作用。各仪器的水冷却系统设计不尽相同：
（1）X射线荧光光谱仪和定氧仪的冷却水有内冷却水和外冷却水之分，(a)内冷却水是去离子水，用于冷却带电的高温元件【如X射线管和定氧仪的炉头等】,(b)外冷却水一般是自来水，用于冷却内冷却水。
（2）ICP分析仪的冷却水只有内冷却水，其内冷却水的降温靠的是风扇。
（3）原子吸收分析仪需冷却的部位不带电，所以是直接用自来水冷却。有的冷却系统设有检控报警装置（如X射线荧光光谱仪）这就方便日常检查，只要检查各监控装置是否正常，有无报警即可。
有些仪器水箱基本上设计在内部，外部没有明显的监测装置（如ICP分析仪和定氧分析仪），这就需要专责人和维修人员定期检查水量是否减少，如少应及时按配方、按需补充。
气路系统
检测分析仪器的用气主要有分析用气、动力用气和光室用气等三类。
分析用气：分析气回路一般都有压力表或流量计以方便监控流量大小。在每日的检查中，要注意其各参数值是否正常，有无堵塞或泄露。
分析气的纯度有一定的要求，可以直接使用超过纯度要求的气体，也可以加装气体净化机以提纯气体浓度。为了降低杂质限量，一般在气路中设计有除水、CO2等的过滤试剂。使用人员在点检中应注意，净化机工作是否正常，各试剂管中的试剂是否失效，如试剂短期内就失效，说明气源不纯，要及时向相关采购部门反映，更换气源。使用空气压缩机的仪器设备（如原子吸收的分析用气是乙炔和空气的混合气体），在日常应注意空气压缩机工作是否正常，乙炔有无泄露，空气与乙炔的比例是否合适，以防发生危险。
动力用气：动力气的作用是为仪器的某些动作提供动力。如光路中快门的开闭，炉头的升降等。有些仪器的动力气用的也是分析气，如光电直读分析仪、ICP分析仪等。而有的仪器则是单独的动力用气系统，如电子拉力实验机、定氧仪、碳硫仪等。动力用气回路一般都有压力表，单独使用的动力气对纯度要求不是很高，我们所要注意的是其压力值是否正常，如不正常则直接影响其动作的到位，密封是否良好。
光室用气：精密的分析仪器其光路系统是要求在特定的氛围中工作的，不同的仪器采取的措施也不相同
（1）ICP分析在测定190nm以下的元素谱线时，由于空气对其干扰严重，必须进行光室驱气（将光室中的空气驱净），才能得到稳定准确的数据；
（2）光电直读光谱仪为了保证一光室的纯净，是预先抽真空，再充入高纯氮气，并且在工作过程中，始终由循环气泵不停地将一光室中的氮气抽出，经净化管过滤后，重新注入一光室，以此来保证其一光室环境的纯净；
（3）X射线荧光光谱仪则是在分析时，将整个光路系统抽真空，当真空度达到要求，即光路中的空气分子对分析的干扰可忽略不计时，才开始检测计数。
对这些系统，主要检查驱气流量是否正常，净化管是否失效，循环泵工作是否正常，真空泵抽真空能力是否良好，即真空度下降速度是否减慢等等。
计算机控制系统
现在的仪器，其操作控制全部是由计算机来完成的。计算机部分随时代的发展也有所提高，但仍然有些是486等老型号，最早的还有单板机。这些计算机控制系统有些已是超期服役，一旦有问题，备用件很难找到。
这要求在日常使用中要小心，并要定期对分析方法、程序等重要数据做备份，另外，这些计算机不要兼做它用，操作中误删程序或染上病毒，相当难处理。
辅助设备
为了保证仪器的正常工作，每台仪器都按需配有不同的辅助设备，如：气体净化机、除湿机、抽风、空调和前面讲到的稳压源等，这些辅助设备工作是否正常，也会直接或间接地影响仪器的正常分析。应注意检查：气体净化机催化加热、再生加热的炉温是否正常，抽风的风量是否减小、震动是否变大，除湿机的水是否满了，空调制冷量是否满足要求等等。
检测环境要求
每台仪器对环境的温度、湿度都是有要求的，相对恒定的温度、湿度和洁净的环境，不但能有效地提高仪器的稳定性，也能减少故障的发生。潮湿和灰尘是电器故障的一大诱因：仪器中不乏有高压存在，灰尘加上潮湿是很容易造成短路放电的，灰尘如进入光路中，附着在光学元件上，则会直接影响仪器的灵敏度。另外，还要注意防震，仪器的检测系统多数都是精密的光学系统，是以纳米来定义的，所以，减少震动对仪器的稳定性、重现性都是很重要的。
易损件及备品备件
在平常的工作中，应经常检查易损元件和消耗品的好坏，如发现损坏应及时更换，这样才能保证仪器始终工作在一个最优化的状态下。专责人应经常检查此类备品备件的数量，保证有一定的储存，如缺少应及时提前购买。答案来自