如题所述
有两种激光传感器,一种是三角反射式激光位移传感器,精度高,但是量程一般比较小.以德国米铱optoNCDT2300激光位移传感器为例,其精度可达0.6微米,量程只有2毫米.另外一种是时间差激光测距仪,原理不一样,简单说就是传感器探头发出三个激光脉冲,测量脉冲从发出到返回的时间差,三次求平均得到.以米铱公司optoNCDT ILR 1191为例,测量距离可达3000米,当然精度就是毫米级别的了.
德国米铱激光位移传感器
德国米铱激光时间差式位移传感器