真空镀膜机有没有发生爆炸的?

Question

如题所述

Answer 1

如果你用了有扩散泵，在抽低真空的过程中高阀没有关好，泵内漏进大量空气，泵油会发生剧烈氧化，有可能会发生爆炸，这种爆炸的冲击波轻微的会损坏真空室内的部件，严重的会将真空室门冲开，对外部的操作人员会有一定的危险性。不过平时注意设备的保养与维护的话这种情况是不易发生的！

Answer 2

基本上不会，但是电子枪镀膜机在坩埚打坏的情况下，冷却水会不停的涌进真空室，导致真空室内的多数期间损坏，一些路线短路。
如果你担心安全，镀膜机都是由微量辐射的，不过不影响健康，因为生活中的辐射也不少。

参考资料：手书

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Answer 3

操作不当，扩散泵换油，加热时注意流程

Answer 4

没有。工作气体为氩气和氧气。

Answer 5

是一定不会的，很安全的。