真空镀膜系统的主要组成部分有哪些

Question

如题所述

Answer 1

首先镀膜之前有清洗，去掉表层灰尘。如果是硬质材料需要加强结合力会有喷砂处理。然后就似进入真空镀膜设备，包括气体清洗、靶材、加热系统、冷却系统、控制系统。主要涉及洗靶、腔体抽真空、腔体调压、溅射覆膜等主要环节。

Answer 2

真空室部分+抽真空系统+镀膜系统+控制系统+水电气部分

Answer 3

打开真空控制电源总开关。
开维持泵对扩散泵抽低真空，并测量差级真空度。
待前级压力达到1x10-1Pa时，开扩散泵加热。
开充气阀，对真空炉充气，打开真空炉门，清扫炉内，用高压气枪和吸尘器清理，再关好炉门。
待扩散泵正常工作一小时后，开机械泵，在开预抽阀。当真空炉真空度抽到1.0x10 3Pa后开罗茨泵。
打开所有气源开关，关气瓶开关，让管道的气体抽空。
当压力达到3.0x10 0Pa后，关预抽阀，开前级阀在开高真空阀，对真空炉抽高真空。
当真空炉真空达到1.8x10-3Pa.后开工件旋转开，关加热，设温100℃。
空溅各靶。
降炉温到50度以下，关高阀，再关罗茨泵，再关前级泵，再打开充气阀，清扫炉室，等待工件进炉镀膜。本回答被网友采纳