三氯甲硅烷(SiHCl3)还原法是当前制备高纯硅的主要方法.生产流程示意图如下:(1)SiO2与碳反应生成碳的低价化合物,其方程式为______(2)上述生产流程中可循环使用的物质是______和______(3)上述4步中,是氧化-还原反应的是(填序号)______.