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真空镀膜机由几个泵组成
如题所述
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推荐答案 2014-09-09
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有
四个泵
,他们是怎样工作的
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维持泵,机械泵,卢氏泵,扩散泵分别作用是
:待机,粗抽(低真空),中抽(中真空),精抽(高真空)
真空镀膜机
各
泵
工作顺序,原因,原理
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主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。原理是将扩散
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,这些泵的前面还应该装有罗茨泵,它们共同组成真空机组,这些泵统称为罗茨真空机组的前级泵,他们在真空机组里面起到一个预抽的作用。
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