LED芯片制造工艺流程是什么?

如题所述

1. 外延片清洗后,镀上透明电极层,接着进行透明电极图形光刻,然后腐蚀去除多余材料,去胶后进行平台图形光刻,再进行干法刻蚀和去胶,最后进行退火处理。
2. 接着在SiO2沉积后进行窗口图形光刻,然后腐蚀去除多余的SiO2,去胶后进行N极图形光刻,预清洗后镀膜并剥离,退火后进行P极图形光刻,镀膜并剥离,最后进行研磨和切割,制成芯片。
3. 芯片制成后,进行100%的目检,使用放大30倍数的显微镜下进行目测。
4. 接着使用全自动分类机根据不同的电压,波长,亮度的预测参数对芯片进行全自动化挑选、测试和分类。
5. 最后对LED芯片进行检查(VC)和贴标签。芯片区域要在蓝膜的中心,蓝膜上最多有5000粒芯片,但必须保证每张蓝膜上芯片的数量不得少于1000粒,芯片类型、批号、数量和光电测量统计数据记录在标签上,附在蜡光纸的背面。蓝膜上的芯片将做最后的目检测试与第一次目检标准相同,确保芯片排列整齐和质量合格。
6. 在LED芯片制作过程中,把一些有缺陷的或者电极有磨损的芯片,分捡出来,这些就是后面的散晶,此时在蓝膜上有一些不符合正常出货要求的晶片,也就自然成了边片或毛片等。
7. 晶圆上的不同位置抽取九个点做参数测试,对于不符合相关要求的晶圆片作另外处理,这些晶圆片是不能直接用来做LED方片,也就不做任何分检了,直接卖给客户了,也就是目前市场上的LED大圆片(但是大圆片里也有好东西,如方片)。
8. 芯片是硅做的,硅是半导体材料,掺入微量的第IIIA族元素形成p型硅半导体,掺入微量的第VA族元素形成n型半导体,p型半导体和n型半导体结合在一起形成p-n结,就可做成太阳能电池,将辐射能转变为电能。
9. 芯片制造是电子信息工程专业,也有电路与芯片设计专业。属于半导体行业。
10. 集成电路是将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜(thin-film)集成电路。另有一种厚膜(thick-film)集成电路是由独立半导体设备和被动组件,集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。
11. 集成电路对于离散晶体管有两个主要优势:成本和性能。成本低是由于芯片把所有的组件通过照相平版技术,作为一个单位印刷,而不是在一个时间只制作一个晶体管。性能高是由于组件快速开关,消耗更低能量,因为组件很小且彼此靠近。
12. 集成电路的性能很高,带陪因为小尺寸带来短路径,使得低功率逻辑电路可以在快速开关速度应用。这些年来,集成电路持续向更小的外型尺寸发展,使得每个芯片可以封装更多的电路。这样增加了每单位面积容量,可以降低成本和增加功能,见摩尔定律,集成电路中的晶体管数量,每15年增加一倍。
13. 芯片设计是芯片制造的第一环节,需要借助EDA工具和一些IP核,最终制成加工所需要的芯片设计蓝图。
14. 芯片制造的步骤包括沙硅分离、硅提纯、将硅铸成硅锭、晶圆加工、光刻、蚀刻与离子注入、填充铜、涂胶、再做一层结构等。
15. 芯片制造需要5000道工序,涉及50多个行业、2000-5000道工序。
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