光刻机涉及到哪些领域

Question

如题所述

Answer 1

光刻机是一个高科技产品，它融合了多个学科的专业知识。具体来说，它涉及到光学原理、精密机械加工技术、电子电路设计、化学材料科学等领域的知识。
光刻机的主要性能指标包括：能够处理的基片尺寸范围、分辨率、对准精度、曝光方式、使用的光源波长、光强均匀性以及生产效率等。
分辨率是衡量光刻机加工精细度的重要指标，它受到光源衍射的限制，并受到光源、光刻系统、光刻胶以及工艺技术等多方面因素的影响。
对准精度则是指在进行多层曝光时，层与层之间图案对齐的精确度。曝光方式通常分为接触式、接近式、投影式和直写式等几种。
在光刻机的类型上，根据操作的自动化程度，可以将其分为手动、半自动和全自动三种。
1. 手动光刻机：操作依赖于人工调整，通过手动旋转旋钮来改变X轴、Y轴和θ角度，以完成对准。因此，其对准精度相对较低。
2. 半自动光刻机：对准可以通过电动轴根据CCD（电荷耦合器件）的反馈进行自动定位调整。
3. 全自动光刻机：具备自动上下载基板的功能，曝光时长和循环过程均可以通过编程控制，主要满足工厂对高处理量需求。