真空镀膜问题

各位老师你们好,我们公司真空镀膜机的DP泵最近总是高温报警,请教是什么原因?DP泵工作原理是什么

油扩散泵

油扩散泵是一种蒸气射流泵,其工作原理是把工作介质(扩散泵油)的动能在抽气方向上传给被抽气体来作为基础的。扩散泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸气射流中而被携带到泵出口排除的过程。其工作极限真空度在10-2~10-5 Pa范围内。应用在设备上的扩散泵工作范围在10-2~10-4 Pa范围内。
影响扩散泵性能的因素:

① 扩散泵油蒸气的返流。

a. 泵壁表面油膜和油滴的蒸发。

b. 喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射。

c. 一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发。

d. 喷口边缘高速油蒸气流的散射。

e. 室温下油沿泵壁向表面迁移。

② 气体分子的反扩散。

③ 扩散泵油的裂化分解(油氧化没抽速)。

④ 清洗不干净的真空泵,污染物留在泵内并重复循环。

针对以上原因,在使用油扩散泵过程中,增加了一些装置来防止上述现象的出现,真空系统上所加的冷阱就是为了防止扩散泵油蒸气的返流。加罗茨泵和双机械泵是为了减少扩散泵出气口的压力(≤40Pa)。尽量减少气体分子的反扩散。采用合格的扩散泵油是为了防止扩散泵油的裂化分解。

扩散泵的维护与保养及常见问题的处理:

① 扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通,停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。

② 扩散泵停止工作时,泵内应保持真空状态,以免泵油劣化。

③ 被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。

④ 扩散泵如暂时不用,保管期间应保持真空状态,以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在10℃~40℃之间。

⑤ 扩散泵在正常运行时如突然出现性能变坏,应先检查加热器是否正常。

⑥ 扩散泵在长期工作后,性能会逐渐变坏,应定期检修。

a. 泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理。

b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗,然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗,并置于80℃~100℃温度下烘干或用电吹风吹干。

c. 处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。追问

RP泵BP泵又是什么原理和作用呢?

温馨提示:答案为网友推荐,仅供参考
第1个回答  2013-04-03
1,冷却水的冷却效果降低了,可能是冷却水堵塞或部分堵塞
2,DP泵的温控器坏了,例如实际100度的时候,它判断为200度,所以报警了
以上可能性比较大
DP泵工作原理为,油在蒸发时粘稠的油蒸汽喷射带走空气,油冷却回流,而空气被排走了。本回答被提问者和网友采纳