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直流磁控溅射,电压没问题,电流机会为零,是什么原因
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推荐答案 2017-08-28
答:1、整流桥如果是模块结构的,问题主要在交流输入测,可能电源零线虚接或悬浮等,测电压=220V,正常,一带负载,电压就非常低,所以这样的电源经过整流桥,就一定会出现有电压,无电流的情况。一般来说(模块式)整流桥是不会有问题的;2、二极管的整流桥,不但要检查低压而且还应该认真检查管子极性,逐项排查问题会解决的。
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第1个回答 2017-08-27
充电电压=电池电压,电流无法流动=0,平衡。
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急!!!
磁控溅射,
我的靶
电流
加不上去,
答:
你试试磁场的强度吧
,溅射表面200-500高斯之间。
或者电源问题也存在,换个电源试试
。不行的话逐渐换件,控制柜什么的。另外,检查光栅。
急!!!
磁控溅射
的
问题,
靶
电流
加不上去
答:
电流加不上去,有很多情况。建议你提高气压,适当降低衬底温度和负偏压试试,应该能得到改善。如果电源、靶材等都没问题,
有可能是磁场退化了或高温下磁场减弱了
。你们的电流10A很高啦!一般都是几毫安每平方厘米。
磁控溅射,电流没问题,电压
加不上去(最大60v)
是什么原因
?
答:
溅射电压就会升高至原来的值,大概需要几分钟的样子,如果一直没变化,
则要检查气体纯度、漏气等原因
。可能是你所套的靶材套距离靶材较近,之间的电阻较小,不能累计电压,之间距离可以适当增大一些 靶材套是绝缘的,有影响吗?因为靶套与靶本来也是接触的。
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