等离子清洗机中的电极制作原则

Question

射频电源的功率选择原则？15CM的电极距离，要配多大功率的电源

Answer 1

电源功率大小选择和你的工艺有关，气压大小，处理物件大小，处理时间等等，你那个15cm也不准确，因为你的极板应该是对应腔体的，还和你用多少层电极有关

Answer 2

不好意思，不懂这个，不过我们公司使用的启天等离子清洗机，各个方面都不错，他们在国内也是第一家制造商，专业知识可以咨询一下。