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直流和射频磁控溅射的区别
直流磁控溅射
,电压没问题,电流机会为零,是什么原因
答:
答:1、整流桥如果是模块结构的,问题主要在交流输入测,可能电源零线虚接或悬浮等,测电压=220V,正常,一带负载,电压就非常低,所以这样的电源经过整流桥,就一定会出现有电压,无电流的情况。一般来说(模块式)整流桥是不会有问题的;2、二极管的整流桥,不但要检查低压而且还应该认真检查管子极性...
磁控
镀钛金
与
多弧镀钛金
的区别
答:
2. 镀层成分:磁控镀钛金和多弧镀钛金的膜层成分也有所
不同
。磁控镀钛金的钛金属蒸发源可采用仅含99.99%钛的制备钛靶来进行
磁控溅射
,因而制得的钛膜层成分一般比较单一;而多弧镀钛金则可使用钛合金靶材,通过改变气氛气压等参数进行调节,可以制得含有不同元素的化合物膜层,如钛碳、钛氮等复合...
什么叫真空镀膜机?现在有哪些领域可以用到?
答:
磁控溅射镀膜设备及技术介绍 a旋转磁控溅射镀膜机;旋转磁控溅射镀膜技术,是国内外最先进的磁控溅射镀膜技术,靶材利用率达到70~80%以上,基体镀膜均匀,色泽一致。b平面磁控溅射镀膜机;c中频磁控溅射镀膜机;d
射频磁控溅射
镀膜机。可以在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)的工件镀金属铝、铜、钛金、锆、...
直流磁控溅射
制备AlN薄膜 氮气流量多少为好啊,氮气和氩气的比例多少呢...
答:
镀膜气压在
直流磁控溅射
最好的为0.3-0.5Pa之间,这时候电子的寿命和溅射速率达到最佳。这里说的镀膜气压是指的氩气的流量在真空镀膜时的效果。所以氩气流量可以知道了。至于氮气流量就要看你要的是什么样的膜层,如果是纯净的氮化物,那就在调节电压的过程中,电压达到一个值后迅速下降之前,此时的氮气...
作
直流磁控溅射
铜靶时,无法起辉。
答:
电流急剧增大,说明你的靶与地之间短路了,关掉机器,把设备的
溅射
靶卸下来后,靶附近的零件仔细清洗一下问题就解决了。
直流磁控溅射
,电压没问题,电流机会为零,是什么原因
答:
短路,或者无接通靶
磁控溅射
如何制作DLC膜层???
答:
第一种:
磁控溅射
法,用于工具镀膜,需要先打底,如CrN, 然后用石墨靶溅射,最后还有通入C2H2 ,才能最终得到SP3结构的DLC。最好用中频电源;第二种:PACVD,同样用于工具镀膜,也要用铬靶打底,镀DLC时,通入反应气体,靶只是作为一个电极来用,并不溅射。甚至有用
射频
电源;第三种:生物DLC, 是透明...
溅
镀的原理
答:
沉积在塑胶基材上.原理以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面,使其
溅射
出进入气相,可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快,以Cu,Au,Ag等最高,Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以
直流
辉光放电(glow discharge...
隔热膜和普通的汽车膜
有什么区别
?
答:
随着生活质量的提高和对汽车要求的提高,隔热膜越来越受到消费者的青睐。汽车隔热膜(car Insulation film)是指贴在汽车玻璃上的一种透明薄膜,用耐久性强、坚固耐潮、耐高、低温性均佳的材料制成,清澈透明,经金属化镀层、
磁控溅射
、夹层合成等多种工艺处理,成为具有
不同
特性的膜,能紧紧贴住玻璃碎片...
为什么在半导体设备中的偏压,其
射频
频率一般都在13.56Mhz?
答:
915Mhz(微波)、2450Mhz(微波),非通讯频段,工业、及无线电爱好者可以使用,由此该频率的电源技术逐渐成熟,生产厂家也多,价格也相应低,选用该频率的用户也多。但在产生等离子体或偏压特性上衡量,13.56MHz并不是最佳选择。(2)从产生自偏压而言,在13.56MHz范围,同样功率产生的自偏压(仅仅
直
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