磁控溅射靶材是按照什么来进行分类的？

Question

最常用的靶材分类方法是根据什么来分的？

Answer 1

靶材的分类方法很多.
根据材料的种类,靶材包括金属及合金靶材、无机非金属靶材和复合靶材等.
无机非金属靶材又分为氧化物、硅化物、氮化物和氟化物等不同种类.
根据不同的几何形状,靶材分为圆靶和矩形靶.
目前最常用的分类方法则根据靶材的应用进行划分,主要包括半导体领域应用靶材、记录介质用靶材、显示薄膜用靶材、光学靶材、超导靶材等.来自：求助得到的回答

Answer 2

根据靶材的化学成分和材料，溅射靶材可分为金属/非金属单一物质靶材、合金靶材、陶瓷/复合靶材等。靶的形状有长靶、方靶、圆靶和管靶。