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请教直流磁控溅射电源问题
我做直流实验时 一点开直流磁控溅射电源按钮 电压马上升到500多伏 请高人指点一下
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推荐答案 2009-11-07
这是正常的,一般直流溅射电源在功率调节旋流最小的情况下,一打开电源就会有一个电压值,随后此值会有所减小
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http://33.wendadaohang.com/zd/Rchcc00PP.html
其他回答
第1个回答 2009-11-05
直流磁控的电压300~600V之间
第2个回答 2009-11-10
正常,调节下输出功率吧。从小渐渐加高
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